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电子级氢氟酸

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电子级氢氟酸

  • 详细介绍

高纯氢氟酸

分子式:HF  分子量:20.01

质量指标:

 

名称 优级纯GR 分析纯AR 化学纯C.P
氢氟酸(HF)含量%≥  40.0-49.0 40.0-49.0 40.0-49.0

灼烧残渣(以硫酸盐计)%

0.001 0.002 0.01
氯化物(CL)% 0.0005 0.001 0.005
硫酸盐和亚硫酸盐(以SO4计)% 0.001 0.002 0.005
磷酸盐(PO4)% 0.0001 0.0002 0.0005
氟硅酸盐(SiF6)% 0.02 0.04 0.06
铁(Fe)% 0.00005 0.0001 0.0005
重金属(以Pb计) 0.0001 0.0005 0.001


性质:

本品为无色透明液体,在空气中发烟,有刺激性气味,剧毒,能与一般金属、金属氧化物以及氢氧化物发生反应,生成各种盐类。腐蚀性强,能侵蚀玻璃和硅酸盐而生成气态的四氟化硅。易溶于水、醇,难溶于其他有机溶剂。高纯氢氟酸为强酸性清洗、腐蚀剂,可与硝酸、冰醋酸、双氧水及氢氧化铵等配置实用。

产品用途:

   应用于集成电路(IC)和超大规模集成电路(VLSI)芯片的湿法清洗和湿法蚀刻,是微电子行业制作过程中的关键性基础化工材料之一,还可用作分析试剂和制备高纯度的含氟化学品。目前,在国内基本上是蚀刻剂和清洗剂用于微电子行业,其他方用量较少。

本文网址:http://www./product/982.html

关键词:电子级氢氟酸

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